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近日,由重庆大学高端装备机械传动全国重点实验室、重庆大学国家卓越工程师学院科研团队完全自主研发的超高速机械齿轮增速器,顺利通过客户的现场验收并交付。
研发人员合影。
在验收现场,验收组对装备性能及指标进行了现场核验,超高速机械齿轮增速器在核验过程中完成了1小时48000rpm(转速,即每分钟旋转的次数)连续运转和1小时15000rpm-50000rpm变转速运转,增速器振动、温升及噪音等性能指标均满足设计要求。
据了解,超高速机械齿轮增速器为半导体制造的重要装备,可应用于晶圆制造、封装与测试及辅助设备优化等多个场景,如在3D封装中,增速器可大大提升钻孔效率并减少热损伤。另外,刻蚀机的反应腔和传输腔需高速气体输送系统,超高速增速器可优化气体流量控制,提升刻蚀均匀性等。
超高速机械齿轮增速器的核心功能是将输入轴的低速高扭矩运动转化为输出轴的高速低扭矩运动,但是超高转速的使用要求对增速器的振动、噪声、温升、密封等提出了极大的挑战。
研发团队历时近7个月时间,先后攻克高速传动系统振动噪声控制、滑油系统真空密封与高安全设计、传动系统热平衡控制、增速器监测系统设计等关键技术,成功研制出满足设计要求的超高速机械齿轮增速器机电一体成套装备。
超高速机械齿轮增速器示意图及验收现场。
高端装备机械传动全国重点实验室定位于空、天、地、海高端装备精密、重载、高速、高可靠机械传动核心基础零部件“卡脖子”问题和重大战略需求,开展啮合理论、传动系统设计制造及运维核心技术的基础和应用基础研究。
重庆大学国家卓越工程师学院面向国家重大战略和区域经济发展,构建以智慧能源、工业母机等“N”个国家急需关键领域与智能网联新能源汽车、机器人应用创新“2”个自设特色领域为主的“N+2”学术架构,探索政产学研四维协同卓越工程人才培养可持续发展新机制,强化科技创新与产业创新深度融合发展。
重庆大学国家卓越工程师学院
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